這3個真空燒結(jié)爐的應(yīng)急措施了解嗎？

更新日期：2022-05-18 瀏覽次數(shù)：985

　　為滿足行業(yè)對技術(shù)要求和相關(guān)規(guī)范不斷發(fā)展的需要，真空燒結(jié)爐工藝在精確度及效率上有了很大成長空間。真空燒結(jié)爐是一種新型工藝設(shè)備，主要用于半導(dǎo)體元件和功率整流器件的燒結(jié)工藝，它可以進行真空燒結(jié)、氣體保護燒結(jié)和常規(guī)燒結(jié)。但是，在日常使用時，它的應(yīng)急措施我們一定的了解！

　　加熱電源掉電

　　1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報警。

　　2、接地故障。

　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。

　　4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時（此真空度容易發(fā)生放電）。電源出現(xiàn)故障，掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。

　　充氣氣體（氬氣或氮氣）停止

　　1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。

　　2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進行檢查。

　　3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。

　　4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質(zhì)量。

　　真空室壓力惡化

　　1、真空排氣時間比通常長時，應(yīng)把設(shè)備停下來進行檢查，根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀態(tài)下放氣的影響，也有導(dǎo)致壓力升高的情況。